今天各种压力传感器的设计是可用的。两个最常见的传感器类型是MEMS和电容传感器。
MEMS代表的微型机电系统。MEMS传感器是使用微电加工技术制造的所有传感器。因为他们的设计,环境电磁学和流体动力学是重要的考虑,因为他们影响MEMS传感器的功能。尽管MEMS是一个受欢迎的选择,他们往往不是最好的选择为OEM和其他工业用途。
电容是一个对象的能力持有一个电荷,电荷和电容传感器测量的变化。电容式传感器也许是最接近一个普遍的压力传感器的风格,可用于各种各样的应用程序。
MEMS传感器 |
电容式传感器 |
使用一个常见的硅衬底
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住宅包含两个密集紧凑,平行,电隔离金属盘子
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性能的限制
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性能优势
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