电容和MEMS的区别是什么?


2020年6月18日

现在有各种各样的压力传感器设计。两种最常见的传感器类型是MEMS和电容式传感器。

MEMS是微机电系统的缩写。MEMS传感器是任何使用微电子制造技术制造的传感器。由于其设计,环境电磁学和流体动力学是重要的考虑因素,因为它们会影响MEMS传感器的功能。虽然MEMS是一种流行的选择,但它们通常不是OEM和其他工业应用的最佳选择。

电容是物体保持电荷的能力,电容传感器测量电荷的变化。电容式传感器也许是最接近通用压力传感器风格的东西,可以在各种应用中使用。

MEMS传感器

电容式传感器

使用普通的硅衬底

  • 使用微加工技术集成传感器、执行器、机械元件和电子器件
  • 能否在体积小的情况下廉价批量生产
紧凑的外壳包含两个紧密间隔,平行,电隔离的金属板
  • 用灵敏的线性比较电路测量板的弯曲度
性能的限制
  • 不敏感
  • 不准确
  • 信号草案
性能优势
  • 压力范围广
  • 极低的蠕变和老化效应
  • 极好的长期稳定性
  • 高超压额定

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